擴散泵是一種獲得高真空的設備，目前僅限于5級泵。抽速高，效率高，可用于繁忙抽提。常見的真空鍍膜、抽速高而大型的設備，真空鍍膜機的一個重要組成部分是采用擴散泵進行抽真空。大部分都是大型設備，所以成本會相對較高。因此，大多數企業(yè)都非常重視真空沉積機擴散泵的維護。下面由真空小編為大家提供擴散泵的保養(yǎng)和方法的詳細介紹:

真空沉積機

首先，擴散泵的冷卻水在運行過程中必須是穩(wěn)定的。停止加熱后，待泵的工作液完全冷卻后，再關閉冷卻水。

其次，擴散泵停止工作時，應保持在真空狀態(tài)，防止泵油變質。

第三，被抽的氣體應干燥、無腐蝕性、無塵。

第四:如果擴散泵暫時不使用，應在真空狀態(tài)下存放，以避免泵油污染和腐蝕各部件，并將冷卻水套內殘留的水吹凈。將室溫保持在10到40攝氏度之間。

第五:擴散泵長期運行后性能會逐漸變差，應定期檢查。例如，泵油是否已被還原或氧化，按相應要求加油或更換;零件和泵腔應先用氬氣清洗，然后用丙酮擦洗，80-100℃干燥或用吹風機吹干。加工后依次組裝，保持泵芯與泵底垂直，泵腔同心，并按原要求調整各級噴嘴間隙。

第六:待水蒸發(fā)干燥后，安裝泵芯，加入新的擴散泵油，并安裝回機體，連接水管，安裝爐板重新啟動。